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硅片视觉检查AVIS

应用场景 : 应用于半导体芯片生产、硅片制造行业工艺制程机台的自动晶圆检测系统


产品特点



– 功能可选模块化设计

– 紧凑型封口

– 高洁净度、高可靠性、高精度

– 提供系统定制

– 传输振动抑制控制

– 视觉检测运动控制

核心技术



– 通信接口适配技术

– Dual-Arm控制技术

– 晶圆Mapping技术

– 晶圆360°旋转控制

– 晶圆表面光源检测

– 简易化运维管理平台



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